安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,
必須在安全的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。
300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 %
最高轉速10000轉/分
NPP材質工作腔,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
SDN303勻膠顯影機spin processors 濕站系統 Developing
能精確滴定3種膠體或氣體。(包括膠體,顯影液,定型液,氮氣)
工作腔直徑315mm。可以旋涂最大基片直徑250mm圓片或 200mm*200mm方片 。
(圖片)�?捎帽潦�。
NPP的化學穩定性優異,對大多數酸、堿、鹽、氧化劑都顯 惰 性。例如在100℃的濃磷酸、鹽酸、40%硫酸及其它們的鹽類溶液中都是穩定的。
SDN303勻膠顯影機spin processors 濕站系統 Developing :
技術參數:
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:150W
旋轉真空吸盤直徑:4英寸(102mm,標準配置)
可選擇配置: 基片直徑10—280mm可接受訂貨。
轉數:300 - 10000 轉/分。
整個工藝過程是一條連續的曲線�?杉訙p速度。可重復跳轉工藝過程。
可精確滴定3種膠體,液體或是氣體。
1 自動勻膠
2 顯影藥劑
3 DI水
4 氮氣 5 流量可以控制 (2,3,4)
6 時間精度 千分之一秒。
可設定時間:1---9999秒。
可選配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、滴膠筒,滴膠針頭
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